密封環(huán)端面流體動(dòng)壓槽的加工方法

密封環(huán)動(dòng)壓槽在非接觸機(jī)械密封中得到越來越多的應(yīng)用，但是動(dòng)壓槽的形狀復(fù)雜，結(jié)構(gòu)精細(xì)而精度高，粗糙度要求也嚴(yán)格，尤其是加工動(dòng)壓槽的密封環(huán)多是硬質(zhì)材料的，所以動(dòng)壓槽的加工困難很大，常規(guī)的機(jī)械加工法幾乎無能為力，因而，人們探索了多種方法，主要有以下幾種：

光刻法(化學(xué)腐蝕)

先在被刻槽的工件上涂以感光膠膜，然后將事先準(zhǔn)備好的底片放于其上，經(jīng)曝光，顯影，涂保護(hù)層，再在蝕刻液中浸蝕，便可得到所需的動(dòng)壓槽。這一方法在青銅上刻槽尚可，在硬質(zhì)合金上刻槽時(shí)，由于膠膜在較高溫度下耐不住浸蝕液的的長時(shí)間腐蝕，所以刻出的槽形質(zhì)量不高。

電火花加工(電蝕刻)

該方法是利用兩個(gè)電極放電的方法，將動(dòng)壓槽內(nèi)待去除的材料蝕刻掉。該方法的關(guān)鍵是制作放電頭，放電頭端面結(jié)構(gòu)和密封環(huán)端面動(dòng)壓槽結(jié)構(gòu)相同，但圖案是突出的。密封環(huán)和放電頭分別作兩個(gè)電極通電，當(dāng)兩個(gè)端面接觸時(shí)，產(chǎn)生放電，密封環(huán)端面動(dòng)壓槽部位的材料即被蝕刻掉。不過這一方法要求電介質(zhì)性能要好，放電頭端面與密封環(huán)端面要平行等，以取得均勻放電的效果，否則各槽的槽深將難以保證。這一方法的缺點(diǎn)是加工放電頭困難;電蝕刻的效率太低，否則放電頭損耗又較大;加工成本高;效果也欠佳;同時(shí)電加工產(chǎn)生的表面應(yīng)力造成的微裂紋會(huì)使材料的強(qiáng)度降低。