退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。那么退火爐的操作規(guī)程有哪些？

退火爐的操作規(guī)程：

一、 退火爐裝爐前的檢查和準(zhǔn)備工作

1、檢查冷卻循環(huán)水系統(tǒng)是否正常，進(jìn)水、回水閘門是否打開(kāi)。流經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)、爐門的冷卻水是否暢通，有無(wú)漏水現(xiàn)象，冷卻水壓力是否達(dá)到0.1～0.3Mp，水溫低于25℃，水量是否合適。

2、檢查風(fēng)壓系統(tǒng)是否正常，管道有無(wú)漏氣現(xiàn)象，風(fēng)壓是否達(dá)到0.4～0.6Mp，爐門氣缸工作是否正常。

3、檢查電氣設(shè)備、儀表工作是否正常，熱電偶是否完好，有無(wú)短路現(xiàn)象，測(cè)溫是否準(zhǔn)確。

4、檢查爐門提升機(jī)構(gòu)工作是否正常，鏈條、鋼絲繩有無(wú)損壞、斷絲。爐門升降應(yīng)無(wú)卡阻、碰撞現(xiàn)象，機(jī)構(gòu)動(dòng)作必須靈活，爐門安全銷伸縮自如，上下行程開(kāi)關(guān)工作靈敏可靠。

5、檢查循環(huán)風(fēng)機(jī)、吹洗風(fēng)機(jī)軸承潤(rùn)滑是否良好，轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常，有無(wú)雜音。

6、清除爐子周圍的障礙物、易燃物。將爐膛內(nèi)、鋁卷、小車及小車軌道內(nèi)的鋁屑、臟物清掃干凈。

二、退火爐進(jìn)出爐操作規(guī)程

1、裝爐前應(yīng)按生產(chǎn)工藝卡片要求，認(rèn)真核對(duì)帶卷或垛板的合金牌號(hào)、批號(hào)、規(guī)格、狀態(tài)、重量，按要求填寫(xiě)記錄。

2、裝料時(shí)一定要裝正，帶卷上下左右前后基本對(duì)稱，卷與卷之間間隙基本一致，不允許超重、超長(zhǎng)、超寬、超高。退火時(shí)卷與卷、垛與垛的重量差要盡量小（卷與卷的重量差小于1 T，垛與垛的重量差小于0.5T）。特殊情況時(shí)，考慮裝爐的經(jīng)濟(jì)性，可將不同厚度、不同重量的成品裝在一爐內(nèi)退火，但必須分區(qū)控制溫度，有重量差時(shí)應(yīng)將熱電偶插在小卷或小垛上。

3、正確安插熱電偶。熱電偶的安插深度為：卷材25～30mm，板材≮50mm。其安插位置必須位于卷或垛的中心位置，并要求安插牢靠，不漏氣，無(wú)短路現(xiàn)象。

4、打開(kāi)爐門。首先松開(kāi)爐門壓緊裝置，將爐門提升到上極限位置，并插好安全銷。

5、進(jìn)爐過(guò)程。

（1）10T爐應(yīng)先把小車和料車間的銷子插好，然后開(kāi)動(dòng)小車，把料車推進(jìn)爐膛內(nèi)，等料車到位停穩(wěn)后拔出銷子，最后把小車開(kāi)出爐膛停在原定的位置上。

（2）20T爐應(yīng)先接通卸料車電源，啟動(dòng)油泵電機(jī)，用頂升機(jī)構(gòu)將裝有工件的料盤頂升到上限位，然后把卸料車開(kāi)入爐膛內(nèi)到正確位置，并將料盤放在爐膛內(nèi)的立柱上，待料盤放穩(wěn)后，把卸料車開(kāi)出爐膛外停在原定的位置上，并關(guān)停油泵及卸料車電源。

6、關(guān)閉爐門。等小車停穩(wěn)后，拔出爐門安全銷，降下?tīng)t門到下極限位，并用氣缸壓緊爐門。爐門壓緊應(yīng)均勻、密封，無(wú)明顯漏氣現(xiàn)象。

7、出爐過(guò)程與進(jìn)爐過(guò)程的操作程序相反。

三、退火爐溫控系統(tǒng)操作規(guī)程

1、應(yīng)先確認(rèn)爐門關(guān)閉密封完好，檢查電氣系統(tǒng)正常后，方可操作。

2、先逐個(gè)啟動(dòng)每區(qū)的軸流風(fēng)機(jī)。

3、啟動(dòng)每區(qū)的循環(huán)風(fēng)機(jī)，等到電機(jī)電流穩(wěn)定后，再啟動(dòng)另一臺(tái)風(fēng)機(jī)，保證每一區(qū)的風(fēng)機(jī)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

4、按生產(chǎn)工藝卡片的工藝要求，在溫控智表上輸入工藝控制參數(shù)。

5、打開(kāi)排煙閥門，啟動(dòng)吹洗風(fēng)機(jī)。（10T爐排煙道無(wú)閥門）

6、接通加熱器的電源開(kāi)關(guān)，按規(guī)定的溫度曲線進(jìn)行控制退火。

7、退火過(guò)程中要經(jīng)常檢查電器、機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)情況，如加熱器、循環(huán)風(fēng)機(jī)、軸承等。

8、退火過(guò)程中注意各區(qū)的金屬溫升情況，操作手可根據(jù)具體情況小范圍調(diào)整爐氣溫度（一般在±10℃左右），保證每區(qū)的溫度大到一致。

9、若在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，金屬溫度超過(guò)金屬溫限上限，可適當(dāng)冷卻，若未達(dá)到金屬溫下限，則可延長(zhǎng)保溫時(shí)間，直到達(dá)到金屬溫限。

10、退火結(jié)束后，依次停加熱器、軸流風(fēng)機(jī)、吹

風(fēng)機(jī)、循環(huán)風(fēng)機(jī)。打開(kāi)爐門出爐。

以上就是有關(guān)退火爐操作規(guī)程這方面常識(shí)的介紹，希望這些小常識(shí)可以對(duì)您有幫助.